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从纳米“照相机”到纳米“摄像机” 国产扫描电镜制造取得进展

时间:2019/11/1 17:43:45  作者:  来源:  浏览:0  评论:0
内容摘要:  对材料微观结构的观测一般离不开“微观相机”,即扫描电子显微镜。由此,在材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研究领域迫切需要这种“利器”。然而,目前我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口,每年花费上亿美元从美国、日本、德国和捷克斯洛伐克等国采购扫描电镜。国产扫描电镜也都...
     对材料微观结构的观测一般离不开“微观相机”,即扫描电子显微镜。由此,在材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研究领域迫切需要这种“利器”。然而,目前我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口,每年花费上亿美元从美国、日本、德国和捷克斯洛伐克等国采购扫描电镜。国产扫描电镜也都集中在低端产品领域。

  记者近日从北京经济技术开发区获悉,由园区孵化的创新企业聚束科技(北京)有限公司(以下简称聚束科技)自主研发的高通量(场发射)扫描电子显微镜,以实物通电工作状态展示高端电镜的风采,破解了国产扫描电镜“弱视”问题。

  “该系统可对工程级材料进行整体纳米晶粒、成分分布统计等电镜微区分析,视频级纳米分析能力,使扫描电镜从传统意义的纳米‘照相机’跃变为纳米‘摄像机’。”聚束科技总经理何伟告诉记者。一位业内资深人士表示,“虽然市场还不是特别大,但它是多个科研领域用于科学分析的关键仪器设备”。

  据了解,目前领航者扫描电镜在国内装机数量达到10台(套),并出口海外,实现在国内重大科研项目上的示范性应用。下一步,扫描电镜设备还将被纳入一些知名半导体芯片制造商的实验室里,协助进行开发分析,助力高端制造发展。

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